オイルシール・メカニカルシール関係 磁性流体シール
磁石を用いて磁性流体を回転軸の周りに保持するクリーンなシールです。
耐熱性能が高いため、周辺に冷却機構を設ける必要がありません。また差動排気が無く直接排気のみで極高真空に対応できます。耐腐食性能・耐プラズマ性能に優れており半導体製造装置やフラットパネルディスプレイ製造装置の真空シール、搬送用ロボット軸受部のダストシールの用途等で採用されています。
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